半導体工場とテフロン

半導体工場においてテフロンが使われる主な理由は、その優れた特性に尽きるとしています。 テフロンはポリテトラフルオロエチレン（PTFE）としても知られており、以下のような特性を持っています：

1. 非粘着性: テフロンは非常に慎重な表面を持ち、物質がその表面にくっつかないため、化学物質や微粒子が付着することを防ぎます。これは半導体製造プロセスにおいて、化学薬品や粒子が機器の内部ですに付着することを防ぎ、製品の品質を向上させるのに役立ちます。

2. 耐化学性: テフロンは化学薬品に対して非常に耐久性があり、腐食性物質や高温の環境にさらされても安定して性能を維持します。これは半導体製造プロセスで使用される多くの薬品です反対に重要です。

3. 高温耐久性: テフロンは高温に耐えることができ、半導体工場内での高温プロセスにおいても安定した性能を発揮します。

4. 電気絶縁性: テフロンは優れた電気絶縁材料であり、半導体製造プロセスにおいて電気の絶縁を必要とする場面で使用されます。

これらの特性により、テフロンは半導体製造工程においてコンテナ、チューブ、バルブ、ガス配管などの部品や材料として広く使用されています。